在正常情況下，空氣中各組分是以穩(wěn)定分子的形式存在的，它們隨著壓力、溫度的變化而發(fā)生移動，不會與任何物質(zhì)發(fā)生劇烈的化學反應，當環(huán)境發(fā)生變化，例如溫度不斷升高、增加空氣壓力等，空氣的穩(wěn)定狀態(tài)被破壞，分子逐漸離解成為帶有正負電荷的離子，因為它們總體的電荷為零，因此正負離子的數(shù)量相同，它們不再以氣體的形式存在，成為等離子。

廢氣處理設備中會有等離子的應用，它們具有活躍的化學性質(zhì)，能夠與其它物質(zhì)發(fā)生化學發(fā)行，氧離子的氧化作用改變廢氣中分子的固有結構，使其成分逐漸被氧化成的物質(zhì)，這種方法原理比較簡單，設備中只需要增加一個不斷升溫的裝置就可以完成等離子的制備和利用。

這種處理廢氣的方式比較，任何經(jīng)過廢氣處理設備的物質(zhì)都能夠與等離子發(fā)生反應，無論是惰性氣體還是化學性質(zhì)活潑的氣體，尤其對一些難以處理的揮發(fā)性氣體，等離子凈化裝置能夠地完成處理過程。比起活性炭凈化裝置，這種設備不需要定期換耗材，效率也了提升。人們可以根據(jù)廢氣的流速和濃度來設置管道的尺寸，只要安裝沒有問題，后續(xù)的使用過程就不會出現(xiàn)太大的問題，可以節(jié)省維護人員的配備，設備操作起來比較簡單，基本上不需要提前設置參數(shù)，只要帶來機器，廢氣就可以通過機器到達排放口，排到空氣中的廢氣是凈化過的潔凈氣體。